荷兰估计要难受了,全国首台国产商业电子束光刻机在杭州“出炉”,其精度比肩国际主流设备,标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”。 电子束光刻机有多牛?简单来说,电子束光刻机(EBL)和咱们常听说的光刻机是"亲戚",但更高级,普通光刻机像用投影仪把电路图案"照"到硅片上,而电子束光刻机则是用极细的电子束一笔一划"雕刻",精度更高。 这台国产设备能以10纳米的超高精度进行加工,相当于在一毫米的宽度内可以刻出10万条精细线条,专门用于制造量子芯片和光子芯片等前沿科技产品,是开发高端芯片的关键设备。 研发团队负责人透露,最难攻克的是电子束"手抖"问题,想象一下,用毛笔在米粒上写字,手稍微一抖就全毁了,他们花了三年时间,开发出智能防抖系统,才解决这个世纪难题。 最让人振奋的是,这台设备90%以上的零件都是国产的,连最核心的电子枪和控制系统也是自主研发,这意味着我们再也不怕被国外"卡脖子"了! 中科院的专家说,用上这台设备后,量子芯片的稳定性提高了30%,良品率直接翻倍,"以前买国外设备要等一年多,现在下单就能用,研发进度快多了!"一位研究员兴奋地说。 华为、长江存储等企业已经准备下单采购,业内人士预测,未来三年这个市场能到百亿规模,更关键的是,这项技术还能用在5G芯片、人工智能芯片上,带动整个产业链升级。 消息一出,荷兰ASML股价立马跌了3%,美国、日本的同行也受到波及,要知道,电子束光刻机以前可是西方严格封锁的技术,现在中国不仅造出来了,还能量产! 日本媒体酸溜溜地说,中国正从"设备买家"变成"技术卖家",韩国半导体协会更是急得跳脚,连夜开会讨论怎么应对。 回看发展历程,中国半导体装备的突围就像登山,从28纳米、14纳米到现在10纳米,每一步都走得很艰难,电子束光刻机的成功,相当于在"死亡区"建起了营地,证明我们有能力冲击"珠穆朗玛峰"。 但专家们也提醒,和国际最先进的5纳米设备比,我们还有差距,接下来要在工艺优化、量产稳定性上下功夫。 这次突破给我们三个启示: 第一,核心技术买不来,西方越封锁,我们越要自主创新,从原子弹到空间站,历史一再证明这个道理。 第二,产学研要结合,这次是企业和科研院所联手攻关,既考虑技术突破,又想着市场应用,这种模式值得推广。 第三,人才是关键,听说研发团队里有个90后工程师,为了解决一个技术难题,连续三个月睡在实验室,正是有这样的人才,中国科技才能不断突破。 展望未来,中国半导体还要继续努力,设备造出来只是第一步,要把良品率提上去,成本降下来,但有了这个好的开始,相信量子芯片、人工智能芯片的"中国时代"不会太远!